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產(chǎn)品詳細頁
用于晶片定位的集成垂直旋轉(zhuǎn)臺
簡要描述：ZVR 利用三點驅(qū)動和軸承設(shè)計，集成了 Z 和 θ 定位，可以精確地升高和旋轉(zhuǎn)晶圓卡盤。薄型設(shè)計，垂直精度達 10 mm，角度行程持續(xù)為 360 度三點式底部接口可以穩(wěn)定安裝到任何 XY 平移臺或其他平臺中心孔徑大，從而簡化了真空和電纜管理質(zhì)量輕、固有頻率高，從而可用于快速步進應用不銹鋼循環(huán)滾珠軸承即插即用 - ESP 兼容
產(chǎn)品型號：ZVR-PC- 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
- 更新時間：2024-11-08
- 訪 問 量：404
產(chǎn)品介紹
| 品牌 | Newport/美國 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品種類 | 電動 |
| 應用領(lǐng)域 | 綜合 |
特征
有效載荷設(shè)計
ZVR 通過沿著旋轉(zhuǎn)平臺外圓周的三個點（以 120 度分開）剛性地支撐和驅(qū)動有效載荷。常規(guī)設(shè)計在旋轉(zhuǎn)臺中心使用一個單個凸輪、楔塊或螺絲。具有串聯(lián)導軌和驅(qū)動機制的 Newport 的三點設(shè)計具有很多優(yōu)點，非常適用于輕微到不平衡載荷應用（例如，晶片探測），可以沿著卡盤的外邊緣位置施加垂直力。因這些偏心負載造成的角變形降低到最小程度，并且在垂直運動期間也不存在彎曲現(xiàn)象。
開放式孔徑
ZVR 設(shè)計的一個重要性能是含有一個穿過轉(zhuǎn)臺中心的 50 mm 通光孔徑，以支持通過電纜、線路和其他工具。
可調(diào)限位開關(guān)
ZVR 具有一個調(diào)節(jié)范圍為 4 mm 的上限開關(guān)，使用戶可以設(shè)置垂直行程的上限。
可調(diào)限位開關(guān)
ZVR 具有一個調(diào)節(jié)范圍為 4 mm 的上限開關(guān)，使用戶可以設(shè)置垂直行程的上限。
免費提供計量報告
Newport 保證根據(jù) ASME B5.57 和 ISO 230-2 標準測量和記錄的規(guī)格值。典型性能值比可保證值高出兩倍。
COMPATIBLE CONTROLLERS
Compatible motion controllers for ZVR-PC are:
·XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.
·XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6 or 8 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.
·ESP302 Motion Controller (1 , 2 , or 3 Axis): Plug and Play compatible with ESP302 Motion Controller.
·SMC100 Motion Controller: SMC100CC for ?-axis and SMC100PP * for Z-axis.
* Minimum Incremental Motion for Z-axis is 0.25 µm with SMC100PP controller.
