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產(chǎn)品詳細(xì)頁
ZVR集成步進(jìn)電機(jī)垂直和旋轉(zhuǎn)臺
簡要描述：ZVR集成步進(jìn)電機(jī)垂直和旋轉(zhuǎn)臺集成了10mm的垂直(Z軸)和360的連續(xù)旋轉(zhuǎn)(0軸)定位采用的三點(diǎn)驅(qū)動和軸承設(shè)計。它的設(shè)計主要是為了精確地提升和旋轉(zhuǎn)200毫米/300毫米晶圓卡盤和其他需要調(diào)整以對齊物體方向或聚焦的樣品或物體。在這一階段使用的步進(jìn)電機(jī)是一個成本較低的替代直流伺服系統(tǒng)的要求不高的應(yīng)用。運(yùn)行開環(huán)。脈搏計數(shù)是一個很好的位置指示器
產(chǎn)品型號：- 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
- 更新時間：2024-11-08
- 訪 問 量：580
產(chǎn)品介紹
| 品牌 | Newport/美國 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 電動 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
ZVR集成步進(jìn)電機(jī)垂直和旋轉(zhuǎn)臺特征
ZVR集成步進(jìn)電機(jī)垂直和旋轉(zhuǎn)臺有效載荷設(shè)計
ZVR 通過沿著旋轉(zhuǎn)平臺外圓周的三個點(diǎn)（以 120 度分開）剛性地支撐和驅(qū)動有效載荷。常規(guī)設(shè)計在旋轉(zhuǎn)臺中心使用一個單個凸輪、楔塊或螺絲。具有串聯(lián)導(dǎo)軌和驅(qū)動機(jī)制的 Newport 的三點(diǎn)設(shè)計具有很多優(yōu)點(diǎn)，非常適用于輕微不平衡載荷應(yīng)用（例如，晶片探測），可以沿著卡盤的外邊緣位置施加垂直力。因這些偏心負(fù)載造成的角變形降低到最小程度，并且在垂直運(yùn)動期間也不存在彎曲現(xiàn)象。
開放式孔徑
ZVR 設(shè)計的一個重要性能是含有一個穿過轉(zhuǎn)臺中心的 50 mm 通光孔徑，以支持通過電纜、線路和其他工具。
經(jīng)濟(jì)的步進(jìn)電機(jī)版本
步進(jìn)電機(jī)版本是一種更加經(jīng)濟(jì)實惠的版本，適用于要求較低的應(yīng)用。步進(jìn)電機(jī)版本不使用編碼器反饋，但通過命令控制的步長和微步長的數(shù)量來到達(dá)某一位置。步進(jìn)電機(jī)的一個優(yōu)點(diǎn)是，即使在空轉(zhuǎn)時也能提供全轉(zhuǎn)矩。 ZVR平臺與ESP兼容，允許用戶在與Newport控制器一起使用時享受Newport的智能平臺功能。
可調(diào)限位開關(guān)
ZVR 具有一個調(diào)節(jié)范圍為 4 mm 的上限開關(guān)，使用戶可以設(shè)置垂直行程的上限。
免費(fèi)提供計量報告
Newport 保證根據(jù) ASME B5.57 和 ISO 230-2 標(biāo)準(zhǔn)測量和記錄的規(guī)格值。典型性能值比可保證值高出兩倍。
Compatible Controllers
Compatible motion controllers for this stepper motor driven stage are:
●XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.
●XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6 or 8 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.
●ESP302 Motion Controller (1 , 2 , or 3 Axis): Plug and Play compatible with ESP302 Motion Controller.
●SMC100PP Single Axis Motion Controller: 0.25 µm MIM for Z-axis and 1.0 mdeg for ?-axis when used with SMC100PP.
